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    电子特气管道高纯气体管路的设计要点

    发布时间:2022-03-30 | 游览:112

    内容摘要:目前为止特气供气的方式,几乎都是以钢瓶的方式进行。一般常用的为高压钢瓶,其气体特性有分为气态和液态两种。

    目前为止特气供气的方式,几乎都是以钢瓶的方式进行。一般常用的为高压钢瓶,其气体特性有分为气态和液态两种。一般气体以液态储存于钢瓶内,其优点为供气压力低于一个大气压,无任何泄漏的危险,且供气量为普通高压钢瓶的10倍,低蒸汽压的气体以液态储存于钢瓶内。针对易燃易爆,有毒性腐蚀性的气体,将钢瓶放于特柜中,再通过管路将气体供应至现场附近的阀箱,经过一系列的控制而后进入用气点。一般惰性气体以开放式的气瓶架和阀盘供应。

    电子特气管道高纯气体管路的设计要点

    1.对于不同特性的气体,要规划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

    2.管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/S,可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4”~3/8”。

    3.根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。

    4.管路中应减少不流动气体的“死空间”,设计不应有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应配置吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。

    5.对于高纯气体纯度要求不同的用气设备,可采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处需设末端气体提纯装置。

    6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。

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